产品特性
1. 稳定的结构，针座平台可快速升降和微调，适合针卡测试
2. 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计
3. 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
4. 芯片内部线路/电极/PAD测试
5. VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试
6. 高等院校/研究所/工业用户实验室使用
7. 可用于12英寸以内样品测试
8. VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性测试
9.精密丝杆传动结构，线性移动
主要技术指标
型号 | LS-WPS150-SC | LS-WPS200-SC | LS-WPS300-SC | ||
外形 | 820mm长* 720mm宽* 890mm高 | 960mm长* 850mm宽* 900mm高 | 1300mm长* 920mm宽* 920mm高 | ||
重量 | 约170公斤 | 约230公斤 | 约300公斤 | ||
电力需求 | 220VC, 50~60Hz | ||||
样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 | |
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12*12英寸 | ||
移动精度 | 1um | ||||
样品固定方式 | 真空吸附 | ||||
背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | ||||
针座平台 | 规格 | U型平台，多可以放置8个针座 | U型平台，多可以放置10个针座 | U型平台，多可以放置12个针座 | |
行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程6mm，并带自动锁定功能；可以上下微调，行程25mm，升降精度1um | ||||
光学特性
| 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | |||
显微镜移动精度 | 1um | ||||
切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 | ||||
放大倍数 | 20~4000X | ||||
镜头规格 | 目镜：10X; 物镜：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （选配） | ||||
CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | ||||
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||
机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||
漏电精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱时） | ||||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口 | ||||
应用方向 | 晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等 | ||||
