全息数字显微镜的纵向精度是由激光的本征波长来校准的，因此提供了激光干涉级别的高精度和高可重复性的量测数据。纵向分辨率达到了亚纳米，横向分辨率则由所选物镜决定。
另外得益于对所记录全息图的*数字重建运算，DHM® 可数值选取所需聚焦的像面(数字自动聚焦)。这一功能也允许用户在数据记录后重新寻找聚焦像面，而无需再调整样品实际高度。
全息数字显微镜
反射式数字全息显微镜(DHM® -R)，非扫描非接触无损测量，显示静态和动态三维形貌，表征周期振动。
的速度，*创新的技术
超高速记录动态三维形貌：
DHM® 采用非扫描机制，采集单帧图像既能记录样品表面三维形貌，因此拥有其他技术无法匹敌的图像采集速度。使用标准相机采集速度为视频速率30帧/秒，而高速相机可以达到1000帧/秒，使得以下应用变为可能：
研究可形变样品三维动态响应
表面大区域扫描分析
高产量常规检测
生产线在线三维形貌捕捉
MEMS测振分析，高可达25MHz
频闪模块(可选配件)可同步DHM® 测量时激光脉冲与 MEMS器件的激励信号，获取振动周期内的全视场振动模态。 这些*的分析数据可提供以下信息：
三维形貌时序图
频率共振分析和响应分析
面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm，面外振幅测量精度5pm)
复杂运动表征，振动模态表征，样品动态三维形貌
多种可控环境下测量
*的光学原理和光路设计使得DHM® 能够满足使用者在各种环境下的测量需求，提供灵活和便利的测量体验：
透过玻璃(盖玻片、载玻片、玻璃窗口)或者浸润液
观测环境控制箱或真空腔内部样品，可改变环境参数，比如温度、湿度、气压、气体成分等
