一、微电子产品用高纯水设备
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
二、微电子产品用高纯水设备应用领域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
2、超纯材料和超纯化学试剂；
3、实验室和中试车间；
4、汽车、家电表面抛光处理；
5、光电产品；
6、其他高科技精微产品；
三、工艺流
1、一级反渗透 混床（出水2---15mΩ.cm）
原水箱—原水泵—多介质过滤器—活性炭过滤器—软水器→保安过滤器→高压泵—反渗透主机→纯水箱—纯水泵→阴阳离子交换混床→微孔过滤器—储水罐→纯水输送泵→用水点
2、一级反渗透 EDI系统（出水5---15mΩ.cm）
原水箱---原水泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→保安过滤器→高压泵---反渗透主机→纯水箱—EDI系统→储水罐→纯水输送泵→用水点
3、二级反渗透 EDI系统（出水18mΩ.cm）
原水箱—原水泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→保安过滤器→一级高压泵—一级反渗透主机→PH调节—二级级高压泵—二级反渗透—纯水箱—脱气装置—微孔过滤器→EDI系统→抛光混床系统—储水罐→纯水输送泵→用水点
四、电子超纯水设备特点
设备通常由全自动多介质过滤器，全自动活性碳过滤器，全自动软化器、精密过滤器等构成前期预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用*和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
