■ 线宽测量仪硬件特点
手动型采用光滑平整的花岗岩操作台，方便移动样品而不会被划伤
自动型采用闭合式球墨铸铁移动底座，低折射率光学玻璃测试平台
进口高感光度、高解析度彩色相机，拍摄灵敏度高，成像画质清晰
进口低变形、大景深、高倍率同轴光镜头，满足测试的视野要求
同时配备环形光源、同轴光源和定位光源，满足多种测量需求
高精度、高灵敏度的机械调焦装置，可准确、清晰的确定测量元素
配备校正仪，可随时校准仪器精度，固定倍率下可无需校正
■ 线宽测量仪软件特点
所有测量操控鼠标即可快速完成，操作简便易学
软件自动寻边测量，其重复精度更高、测量速度更快
多种测量单位之间可根据要求自由切换，并能实时体现
小数点后的保留位数可选择，0～4位之间任意设定
图片可上下、左右翻转，产品无需摆放角度也可测量
图像显示大小比例可改变，便于选择在分辨率下测试
改变镜头倍率无需再次标定，可直接测量，方便、快捷
软件具有清晰度自动检测功能，方便快速、准确的聚焦
具有管理员/操作员登录模式，可多级别设定权限管理系统
具有SPC管制输出功能，根据公差值可自动判别合格与否
数据可输出至Word、Excel和PDF，且数据和图片一一对应
测试软件可根据用户要求修改
■ 规格参数
仪器型号 | SZ-LWM5037 | SZ-LWA6050 | |
测量精度 | ＜±2μm | ||
重复精度 | ±1μm | ||
单位切换 | mm、dmm、µm、mil、inch | ||
相机 | 传感器 | 2/3″彩色CCD | |
分辨率 | 2448×2048 | ||
曝光方式 | 帧曝光 | ||
镜头 | 光学放大倍率 | 0.75～5×，连续变倍 | |
视场范围 | 0.75×时视场2.34～3.75mm；5×时视场0.35～0.56mm | ||
调焦方式 | 手动（粗调/微调双旋钮） | ||
光源 | 环形光源 | LED环形光，亮度连续可调 | |
同轴光源 | 镜头自带的LED落射光 | ||
定位光源 | LD激光灯 | ||
测试台尺寸 | X1000×Y700mm | X700×Y610mm | |
建议测试样品尺寸 | ≤X500×Y370mm | ≤X600×Y500mm | |
样品台移动行程 |
| X600×Y500mm | |
样品台移动方式 |
| 软件控制自动式+手控摇杆 | |
样品台移动速度 |
| 大50mm/s | |
样品台移动分辨率 |
| 小20µm | |
主机尺寸 | W1000×D850×H1300mm | W1850×D1520×H1470mm | |
主机重量 | 170kg | 240kg | |
电源要求 | 1∮ AC220V 50HZ 10A | ||
