工艺流程
（1）烟气经过管道收集，在进入烟气治理设备之前先经过管道过滤器粗滤，防止大颗粒物进入处理设备，给设备造成影响。
（2）烟气粗滤后进入预处理模块，预处理模块采用油烟分离板构造，将烟气中夹杂的焦油、粉尘去除。
（3）经过预处理模块除油烟后，烟气进入设备的核心处理区域----等离子净化区，等离子净化采用注入式等离子发生装置。外界新鲜空气经低温等离子发生装置，得到等离子体送入等离子净化区。在等离子净化区，大部分烟气分子被等离子体轰击、氧化后变成无毒、无色、无味的气体。
（4）夹杂着部分低温等离子体的烟气到达光化学模块。高强辐照场对烟气成份有破坏作用并产生活泼的次生氧化剂；烟气成份在氧化剂和光的协同作用下持续发生氧化分解，生成二氧化碳和水。
（5）超微净化模块设有顺流循环喷淋系统、错流循环喷淋系统、重力沉降、碰撞除尘、气流均布装置，可以去除微小粉尘，满足排放标准。
（6）整个烟气治理设备中均设计有自清系统，利用循环水对系统进行自动清洁。在光化学区和超微净化模块所产生的废水经过滤系统的过滤后循环利用。
（7）气体在排放前，再经过机械除雾区。在除雾区内，气体中夹带的水雾在折流板功能段内凝聚、滴落。
（8）除雾后，优于国家排放标准的气体通过引风机排入大气。
技术特点
等离子废气净化器可根据不同工艺段废气的特点，设计采用不同的强针对性的工艺技术；组合式工艺极大的提高了废气治理效率。
低温等离子反应的实质是利用电磁场中的高能电子轰击污染物分子，使之化学键断裂，形成活性粒子后再与其他基团重新组合形成更稳定的无害物质的过程。
光化学反应的实质是利用高强光场辐照，污染物质吸收光子的能量发生跃迁，使其处于极不稳定的激发态，然后再与催化产生的活性基团反应，生成无害物质的过程。
光化学能大大促进低温等离子的反应效果与速率，同时，低温等离子中电磁场中的活性离子和自由基也能促进光化学反应的快速、有效的进行，二者相互促进，相辅相成。
两个场强的相互作用，使反应效率提高了10至100倍，同时大大降低了项目产品的功耗。
处理系统设备具有以下特点： 工艺系统的处理效率很高，并且很稳定； 初期投资费用不高，运行费用低，维护保养简单， 工艺系统容易操作，占地面积小，且经此工艺处理后无二次污染。
应用领域
等离子废气净化器适用于烟草行业、橡胶行业、市政污水行业 固废、垃圾处理、制药行业、涂料行业、表面涂装、包装印刷。
