残余气体分析仪系列各方面性能比较均衡且具有出色的性价比。其有4 个型号可供选择，用户可以选择基本型，或者可以选配电子 倍增管用于提高灵敏度和测量范围。因此 PRA是入门型的z ui佳选择。
Edwards WRA系列是一款进阶型号，其具有市场领xian的性能表现。其 有两个型号可供选择，根据测量原子量的范围，可用于更大 范围的气体及过程检测。它们也提升了灵敏度，可在测量过 程中提供更好的精度。
所有的RGA都配备了易于操作的软件，它允许用户从自 己的电脑上连接多达 16 台设备实时监控工艺流程以及数据分 析。对于一些仅需要看一眼特定数据的用户来说，RGA配备 *的显示面板，可用于集中主要气体的分压或含量显示，无需连接电脑。
残余气体分析仪系列产品特点：
* 全压测量：能够结合分压得到系统的全压或直接通过内置离子规得到压力值 。
* 在线显示：能够实时读取特定气体分压值、含量等信息。
* 可维护：可使用标准工具以方便维修零部件。
* 自保护：在错误使用时能启动自保护功能。
* 免费软件：标准软件，无需额外的成本。
* 高灵敏度：带电子倍增管，灵敏度可高达 400 A/mbar。
* 可测分压低：WRA系列可测分压低至 1×10-15 mbar 。
