化工厂热水锅炉废气处理设备废气源→除尘冷凝器（除去锅炉废气中的粉尘和冷凝部分雾状气体，降低气体温度）→高效除尘脱硫塔(吸收掉粉尘以及颗粒物，吸收二氧化硫，硫化氢等酸性气体，为等离子提供优良的运行环境)→低温等离子设备(破坏废气分子结构，转化为无污染物质)→光氧催化设备（进一步氧化分解废气)→高压风机(高压的吸力作用下将风抽出车间)→洗涤塔(洗涤塔水洗小分子碎片，利于检测达标)→烟囱高空排放。
在化学反应过程中，利用催化剂降低燃烧温度，加速有毒有害气体*氧化的方法，叫做催化燃烧法。由于催化剂的载体是由多孔材料制作的，具有较大的比表面积和合适的孔径，当加热到300~450℃的有机气体通过催化层时，氧和有机气体被吸附在多孔材料表层的催化剂上，增加了氧和有机气体接触碰撞的机会，提高了活性，使有机气体与氧产生剧烈的化学反应而生成CO2和H2O，同时产生热量，从而使得有机气体变成无毒无害气体。
煤碳燃烧后的烟，国家环评中主要的指标为：烟尘、SO2，NOX，即要求的除尘、脱硫、脱硝，常用的净化工艺为：高温脱硝→冷却器→高温布袋除尘器→水洗脱硫。
对于中小型锅炉，脱硝很难很贵，只考虑脱硫除尘即可。如果想过环评，净化方法是：冷却器→高温布袋除尘器→水洗脱硫；省钱的方法是：复合水洗除烟尘脱硫法，此种方法除烟尘效率高90%，一般80%左右，过环评有点费劲，但除烟尘效果还是很好的。
化工厂热水锅炉废气处理设备烟气经过先经过脱硝塔中，从塔体下部进口进入塔体，臭氧喷射泵将臭氧发生器产生的臭氧喷射塔中，臭氧流向朝下，与烟气进行逆向接触，进行充分融合后，臭氧分子将NO氧化为易溶于溶液的NO2。然后经脱硝塔出气口进入到脱硫塔中，，经均流板均布后的烟气上升，而浆液通过四个喷淋层的雾化喷嘴，向吸收塔下方成雾罩形状喷射。形成液雾高度叠加的喷淋区。浆液液滴快速下降，均匀上升的烟气与快速下降液形成逆向流。烟气中所含的污染气体由于易溶于水，绝大部分被清洗入浆液，与浆液中的碱性离子发生化学反应而被脱除。这样通过消耗脱硫剂作为吸收反应剂。烟气中的S02、 SO3、被分离出去，而烟气中包含的大部分的固体如烟灰，也大部分被液雾包裹而从烟气中分离进入浆液经过脱硫脱硝后的气体中的氮氧化物和硫化物绝大部分已经被吸收处理，然后经过风机将气体引入到活性炭吸附塔中进行深度处理，后经烟囱排出。
