纳米傅里叶红外光谱仪Nano-FTIR使得纳米尺度化学鉴定和成像成为可能。这一技术综合了原子力显微镜的高空间分辨率，和傅里叶红外光谱的高化学敏感度，因此可以在纳米尺度下实现对几乎所有材料的化学分辨。现代化学分析的新时代从此开始。
纳米傅里叶红外光谱仪Nano-FTIR
在不使用任何模型矫正的条件下，nano-FTIR获得的近场吸收光谱所体现的分子***特征与使用传统FTIR光谱仪获得的分子***特征吻合度*（见图2），这在基础研究和实际应用方面都具有重要意义，因为研究者可以将nano-FTIR光谱与已经广泛建立的传统FTIR光谱数据库中的数据进行对比，从而实现快速准确的进行纳米尺度下的材料化学分析。对化学成分的高敏感度与超高的空间分辨率的结合，使得nano-FTIR成为纳米分析的*工具。
nano-FTIR 可以应用到对纳米尺度样品污染物的化学鉴定上。图3显示的Si表面覆盖PMMA薄膜的横截面AFM成像图，其中AFM相位图显示在Si片和PMMA薄膜的界面存在一个100nm尺寸的污染物，但是其化学成分无法从该图像中判断。而使用nano-FTIR在污染物中心获得的红外光谱清晰的揭示出了污染物的化学成分。通过对nano-FTIR获得的吸收谱线与标准FTIR数据库中谱线进行比对，可以确定污染物为PDMS颗粒。
