高纯设备主要采用RO反渗透纯水设备和EDI高纯水设备联合工艺，采用稳定性强的EDI模块作为反渗透设备后的二次除盐设备，可以制取出高达10-18.2MΩ.CM。
电去离子（EDI）是在电渗析器的淡化室中填充离子交换树脂，借助外直流电场的作用使离子选择性地定向迁移，同时利用水的解离就地再生混床树脂，从而使离子选择性迁移、 深度除盐、树脂电化学再生三个过程相伴发生，相当于连续获得再生的混床离子交换柱，可高不间断地生产高纯水。
优点
1.脱盐率大于99.9%，率远远高于两反渗透和单纯的离子交换。
2.离子交换树脂不需使用酸碱再生，节约大量酸碱和清洗用水，降低劳动 强度。
3.清洁生产，无废水处理问题，利于环保。
4.连续稳定运行。
5.应用于电子行业、高精产品等域所需用高纯水，可保证出水的电阻率*稳定≥16 MΩ.cm。
工作原理
1.水进入 EDI 系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。
2.树脂截留水中的溶存离子。
3.被截留的离子在电作用下，阴离子向正方向运动，阳离子向负方向运动。
4.阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外。
5.阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外。
6.浓缩了的离子从废水流路中排出。
7.无离子水从树脂/膜内流出。
EDI高纯水设备工艺流程
原水箱→原水泵→加药装置→多介质过滤器→加药装置→活性碳过滤器→自动软化器→保安过滤器→高压泵→反渗透系统→中间水箱→二高压泵→二反渗透系统→纯水箱→纯水泵→TOC分解器→脱气膜→精密过滤器→EDI装置→纯水箱→纯水泵→抛光混床→膜过滤器→生产线用水点。
