氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
上海伯东客户某专门生产半导体配管配件工程公司, 定制不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同口径的管路进行焊接, 因半导体行业的苛刻使用要求, 产品漏率值需要达到 <1E-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作, 经过上海伯东*终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 和 ASM 392!
半导体用真空配管检漏方法: 采用真空模式检漏, 按照下图组装样品, 在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处), 如果有漏, 检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.
检漏配置:
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将制作好的各种管件加工焊接, 然后管路连接至氦气检漏仪 ASM 390 进行检漏
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经过实际测试, 无论管径是 6’, 8’ or 10’, 长度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以内达到客户检漏底压需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又, 大大提升了工作效率 |
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测试各个管路时, 可依照客户需求将数据记录储存 (并可储存至计算机内)
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到现场配管, 所有管件组装后, 长度达好几十米, 对比之前的检漏时间, 工程花费时间可能趋近于一天, 但选用伯东 Pfeiffer ASM 390, 在整体抽校与检漏时间上, 几乎缩短了一倍时间！
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因管路衔接长, Pfeiffer ASM 390 针对此点多了一项功能
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结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. *氦质谱检漏仪应用 >>
半导体配管配件检漏用氦质谱检漏仪
半导体配管配件检漏用氦质谱检漏仪
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