伊尔姆 P6Z-101 真空化学杂交泵是旋片泵与抗化学腐蚀隔膜泵的组合体。它通过抗化学腐蚀的隔膜泵吸出滞留在旋片泵内的气体，使腐蚀性气体在旋片泵内的时间和数量大幅减少，进而大幅提高旋片泵的使用寿命，同时保留旋片泵制造的高真空。
伊尔姆 P6Z-101 真空化学杂交泵的主要特点是：
•抗化学腐蚀能力强，适用于抽化学活性强的气体和蒸汽
•耐蒸汽能力强，适用于在抽排过程中会产生大量蒸汽的场合
•配有减压阀，确保杂交泵的使用安全
•配有油腔气泡装置，增大油的表面积，更快地释放出油内的残留物质
•配有液气分离瓶，截留冷凝的液体
•旋片泵的极限真空能力不受影响，并大幅延长其使用寿命和维护间隔
•只用一个开关可同时开启和关闭杂交泵
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