桌上型激光直写光刻系统Dilase 250 主要优势
小巧桌上型系统
掩膜板制作及激光直写
375nm 或405nm 激光源
兼容所有光刻胶
高深宽比: 1 x 20
桌上型激光直写光刻系统Dilase 250
主要特点
系统尺寸: 550 x 670 x 700mm
电脑操控介面
可选激光源: 375 或405nm
带使光束成形及均化的光学组件
一种光束尺寸可选
高分辨率视频定位系统
支持文件格式: LWI (Kloé 设计格式),DXF 和GDS2
自动聚焦设定
自带设计软体: Kloé Design V.2
两种工作模式: 向量及扫描模式
技术指标
线性直写速率：> 100 mm/s
样品平台移动分辨率：100 nm
样品平台移动重复性：100 nm
直写范围：1 –4 寸晶圆
基底厚度：150 μm – 5 mm
激光光斑尺寸：1 μm – 50 μm
物理尺寸(Form factor) ：zui少 10
标准多层对准精度：1 μm
浙江扬清芯片技术有限公司（YoungChip）是一家专注于微流控芯片实验室整体解决方案的企业，技术力量雄厚，生产设备*，检测手段齐全，产品质量过硬。公司可提供整套微流控芯片生产线， 包括CNC 数控微加工仪器、精密激光加工系统、光刻加工系统、塑料芯片注塑系统和微流控芯片热压键合系统， 可以加工生产所有材质的芯片， 如玻璃、石英、硅、PDMS 和PMMA 等。为国内外高校、科研院所、企事业单位等研发机构提供*的微流控相关的产品及技术服务。
主营产品包括： ① 微流控芯片的设计、开发与加工服务； ②微流控芯片实验室组建及芯片技术培训； ③ 微流控芯片的耗材、配件及相关设备； ④ 模块化的芯片温度控制系统、流体操控系统和检测系统； ⑤ 基于微流控技术平台的POCT 快速检测系统。产品涵盖医疗生化诊断、环境监测、食品安全分析检测、化学合成等几大应用领域。
