去离子水是通过离子交换树脂 除去水中的离子态杂质而得到的近于纯净的水，其生产装置设计的合理与否直接关系到去离子水质量的好坏及运营的经济性。 [1]
去离子水制取工艺及其特点
1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器 →阳床 →阴床 →混床 →后置保安过滤器 →用水点。
（特点：污染比较大，自动化程度低，初期投入低）
2、反渗透-离子交换设备制取去离子水，水质稳定，纯度较高，其基本工艺流程为：
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器 →精密过滤器→反渗透设备 →混床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
（特点：污染小，自动化程度高，初期投入中等，价格适中）
3、反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取去离子水的的方式，这是一种制取超纯水的*工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→电去离子 （EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
（特点：环保，自动化程度高，初期投入大，价格相对比较贵。）
处理步骤
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从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：
1、先通过石英砂 过滤颗粒较粗的杂质。
2、然后高压通过反渗透膜 。
3、*一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。
4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换 过程*电阻率可达到18兆。
相对而言，蒸馏水 只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
蒸馏水是指经过蒸馏 、冷凝 操作的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水 [1] 。低耗氧量 的水，加入*与酸工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。词条详细介绍了蒸馏的概念、蒸馏水、多次蒸馏水、蒸馏水的标准、制作方法、优点、用途；并且与去离子水、高纯度水、超纯水进行了对比分析。
蒸馏
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