光解废气净化设备是先将集气系统收集的废气输送到碱式吸收塔中，将废气由下而上输入，碱液通过喷淋的方式由上而下喷淋废气，经过吸收塔处理后的气体在经过一层水幕除尘后输入燃烧塔中。此过程去除了废气中含有的部分酸性气体和粉尘。废气仍然由下而上进入燃烧塔，在燃烧塔中燃烧后，除去了废气中含有的有机物，后再经过一层水幕除尘过程，再去除气体中因燃烧产生的粉尘，燃烧后的二氧化碳和水就排入大气中即可。
光解废气净化设备
废气源集气罩(搜集车间各个废气源的废气，接入主管道)喷淋吸收塔(吸收掉能溶于水的无机废气、粉尘以及颗粒物，降低废气温度，为等离子提供优良的运行环境)一级低温等离子处理设备(破坏废气分子结构，转化为无污染物质)高压风机(高压的吸力作用下将风抽出车间)净化吸收塔(进一步吸收粉尘以及颗粒物以及一些无机气体，水洗小分子碎片，利于检测达标)烟囱高空排放(也可低空排放)。
利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
