实验室废气处理设备放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
实验室废气处理设备
废气源集气罩(搜集车间各个废气源的废气，接入主管道)喷淋吸收塔(吸收掉能溶于水的无机废气、粉尘以及颗粒物，降低废气温度，为等离子提供优良的运行环境)一级低温等离子处理设备(破坏废气分子结构，转化为无污染物质)高压风机(高压的吸力作用下将风抽出车间)净化吸收塔(进一步吸收粉尘以及颗粒物以及一些无机气体，水洗小分子碎片，利于检测达标)烟囱高空排放(也可低空排放)。
利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
*臭氧对有机物具有*的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有*的清除效果。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
