超纯水系统主要采用全自动反渗透+电去离子（EDI）+抛光混床超纯水处理技术，前置预处理加反渗透处理，有效去除水中各种盐份及杂质，然后运用CEDI及抛光混床系统，进一步提升水质，使出水达到用水工艺要求。
超纯水系统水站部分施工难度大，其主要包括三个部分：设备的搬入及安装、共用管架(简称共架，下同)的制作安装以及管道的安装。设备的搬入一定要注意编制详细的设备吊装方案，特别是对于超重、超大、易损设备，千万不可以野蛮冒险施工。
共架的施工要注意两个环节：
1、共架与土建结构连接处一定要坚固，采用预埋铁板。若因种种原因不能预埋，则应用化学铆栓固定在梁上，不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓固定在楼板上；
2、整段管架一定要保持水平，以免管道与共架接触部位由于应力不均匀引起管道弯曲破损。水站的管道施工除CDA、氮气及热交换器用的蒸汽或冷热水管道可以按系统进行施工外，其他站内管道施工可分为两大部分，即共架管道施工和设备周边配管施工。
超纯水制水设备是一款设备。早期超纯水的需求主要是来自发电、医药化工、造纸等行业，水质要求相对较低，其制备只要采用离子交换，该方法的主要缺点是化学药剂再生，既麻烦又不经济，而且由于强行树脂对一般有机分子除去效果差，出水中TOC含量高，随着半导体工业发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，到了上个世纪末，膜技术得到了广泛的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透技术*的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换设备系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求取设备工艺。
