日本ulvac膜片干式排气的真空泵DAL-181
概要
通过橡胶薄膜(膜片)的往复运动而排气的真空泵。 结构简单,易于操作。 DA系列是标准型。
特点及使用时的注意事项
- 膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。泵体结构采用无油环境设计,因此维护简单。根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。
规格参数
| 项目 | 单位 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 实际抽速 | L/min | 180 | 210 |
| 极限压力 | Pa | 3.3×103 | |
| kPa | -98 #1 | ||
| 电机 | W | 500 | |
| 重量 | kg | 37 | |
| 进出气管道直径 | mm | O.D.φ21×I.D.φ15 (G 1/2) | |
| 环境温度 | ℃ | 7～40 | |
| 尺寸 | mm | 388(W) × 523.6(L) × 274(H) | |
| RoHS对应 | ● | ||
#1: 表压
日本ulvac膜片干式排气的真空泵DAL-181
电源电压
| 电压 | 认证 | 备注 |
|---|---|---|
| 三相, 200V | ― |
■TUV认证是由执行产品安全测试及认证的第三方组织审查，符合欧洲规格的高品质产品。
特别说明
- 如果泵在负载运行期间停止,然后再立即重新启动,则可能无法重新启动。 在这种情况下,需使泵内部恢复到大气压状态。
- 请勿吸入腐蚀性气体,有机溶剂,液体或可凝性气体(例如水蒸气)。 另外,请确保异物,灰尘等不进入泵内
- 如果泵在接近大气压的条件下长时间运行,泵可能会在短时间内发生故障
