日本新宇宙半导体材料气体检测仪XPS-7Ⅱ
检测对象:du气/半导体材料气体
检测范围:根据规格而定
检测原理:定电位电解式
检测方式:自动吸引式
应用行业:石油化工、半导体制造
产品描述:半导体材料气体检测
01.产品特点
● 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
● 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
● 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/du性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
04.产品参数
1.根据气体种类不同,满量程也会略有不同。
2.同一测量条件下。
3.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家,有时会有不同。
4.搭载NF3传感器组件时为8小时。
5.AC转接器、数据记录收集套装、以及传感器通电台不属于CE范围。
XPS-7Ⅱ日本新宇宙半导体材料气体检测仪