实验室匀胶旋涂仪
技术参数
▲1.保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护（可选择取消）；
2.支持Wafer尺寸：小标配为10 mm，可选配到3mm或5mm；大到直径6英寸（150mm）的圆片或边长5x5英寸（125x125mm）的方片，无需更换片托；
3.设备材质：全部采用易清洁的NPP天然聚丙烯材质，环保，抗震，耐腐蚀；
▲4.无刷马达：直流双向旋转，正反旋转速度±100~±12000rpm，稳定性能误差±1rpm；
5.马达安全模式：可设置非真空模式，转速3000rpm，加速度500rpm/s；
6.加速度可控范围：100-30000RPM/S；
7.工艺时间：每步可以设定45小时，精度不超过0.1秒；
8. PLC控制：4.3英寸全彩触摸屏高精度PLC可编程的控制器；
9.程序段：可存储99个程序段，每个程序段可设置50个不同步骤的速度状态；
10.无油真空泵：220V/50Hz；真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节；
11.扩展功能：可升级预留端口，可扩展自动滴胶装置、自动去边装置、手动去边等选配项。
实验室匀胶旋涂仪设备性能特点
马达控制：无刷直流双向旋转；
智能程控：控制器可拆卸，4.3英寸寸全彩触屏，配有智能触碰笔，按键有提示音，功能有颜色区分，适用于手套箱；
腔体材质：易清洁的NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性；
模式切换：可自由切换单步模式、多步模式和曲线分析图；
防止堵胶：双真空腔设计；
预留端口：可升级扩展其他多种选配项；
密码功能：设有开机密码和管理员密码，管理员有权限修改核心参数；
安全报警：系统盖板嵌锁、真空异常、通气异常、系统进胶、马达转速异常均会报警，通过声音和界面对话框提示；
气流保护：旋涂过程中对马达进行气流保护（也可选择取消），易维护，易清洁，大幅提高马达使用寿命；
四、应用领域
- 半导体芯片制造
- 钙钛矿太阳能电池制备
- 微纳和微流控
- 纳米薄膜
- 高分子材料
- 有机光伏
- 有机发光二极管
- 有机场效应晶体管&薄膜晶体管
- 石墨烯&二维材料
