自来水厂消毒用臭氧发生器的臭氧原料有两种，即空气和氧气。氧气用于现场制氧和外包液氧。不同的供气方式是影响臭氧处理系统投资和运行成本的主要因素之一。
灭菌除臭设备气源选择的主要依据是：
（1）生产单位臭氧所需的综合成本比较，包括电耗、气源（液氧）、设备运行维护、设备投资（或租赁）等。
（2）臭氧需求（供水规模）。
（3）设备运行可靠性和设备运行管理的要求。水源水质越来越复杂，供水水质日益改善。自20世纪90年代末以来，供水行业引进了以生物活性炭为关键技术的处理技术，特别是在经济发达的“长三角”和“珠三角”地区，臭氧发生设备得到了推广和应用。
自来水厂消毒用臭氧发生器的优点包括：
（1）安全、效率高、低成本。臭氧可以一物多用，可以同时防治多种病虫害，防治成本低。与其他方法相比，臭氧更方便、效率高、安全，可以大大减少消毒剂的用量，从而降低用药成本。
（2）无污染。臭氧在灭菌消毒过程中可以自行还原为氧气和水，没有任何残留和二次污染，这是其它任何化学消毒剂都无法达到的。
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