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广电计量检测集团股份有限公司

无氧烘箱,无氧化烘箱

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  • 公司名称上海隽思实验仪器有限公司
  • 品       牌隽思
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2021/3/10 18:12:21
  • 访问次数2674
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上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
    不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!






HMDS烘箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,PI烤箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,超低温试验箱
测量范围 10 测量精度 0.5
外形尺寸 850mm 用途 无氧烘烤,PI固化,BCB固化,防氧化烘烤
重量 235kg
无氧烘箱,无氧化烘箱在半导体集成电路制造过程中,晶圆表面预处理、涂胶、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、对准、显影、显影后烘焙等因素都会对光刻工艺效果带来显著影响
无氧烘箱,无氧化烘箱 产品信息

无氧烘箱,无氧化烘箱的重要性

  在半导体集成电路制造过程中,晶圆表面预处理、涂胶、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、对准、显影、显影后烘焙等因素都会对光刻工艺效果带来显著影响。更重要的是晶圆曝光后烘烤温度的变化会影响终成像的光刻特征尺寸,因此光刻工艺中曝光后烘烤条件温度的选取显得尤为重要。然而在高温烘烤时防氧化更为重要。

无氧烘箱,无氧化烘箱主要用途

   无氧烘箱用半导体集成电路制造中的封装,坚膜,老化等工艺。PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等.

无氧化烘箱技术性能

内部大小:W350mm×D350mm×H350mm,W600mm×D600mm×H600mm可定制

材料:外部采用优质冷轧板喷塑,内部采用优质耐高温SUS304不锈钢

温度指标:50-300、450℃

温度分辨率: 0.1℃

波动度:<±1.0℃

均匀度:≤±1.5%

洁净度: class 100,可选配

升温速度:0-10℃/min

降温速度:依降温配置而定

氧浓度:≤ 20ppm 

操作方式:人机交互;

控制:曲线升降温模式

控温仪表:进口温控仪

控温段数:23×20段

测温装置:高精度热电偶

超温保护:独立限温保护

检测点数:6点检测,记录仪

氮气控制:装有双通道可调式氮气流量计,全程通氮气

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