日本pureron内置式陶瓷气体过滤器UCF系列
日本pureron内置式陶瓷气体过滤器UCF系列
低压力损失内置式陶瓷气体过滤器 UCF系列
- 低压力损失
氮气以10ℓ/min速度通过过滤器，输入侧压力0.1MPa，输出侧压力损失⊿P仅仅为极低的0.01MPa。 - 高过滤精度
0.01μm微粒子去除性能达到99.9999999999％。为超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。
| 过滤精度 | 0.01μm | |
|---|---|---|
| 推荐流量 | 10～160ℓ/min（各型号区别：参考流量特性曲线) | |
| 设计压力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是，依据日本国内的高压气体保安法，使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品，请询问我们。 |
| 常用压力 | 1MPa(145PSIG)未满 | |
| 容许差压 | 3MPa (435PSIG) at20℃ | |
| 连续使用温度 | 120℃ | |
| 烘烤温度 | 200℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 构成材料 | 外罩：SUS316L 内表面粗糙度：Rmax×0.7μm以下 元素：氧化铝陶瓷(Al2O3) 密封圈：PTFE | |
| 连接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它 | |
陶瓷气体过滤器
具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃の高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）
- PGF系列： 蜂窝状构造部件 过滤精度0.003μm 推荐流量10～200L/min
- PGFL系列： 蜂窝状构造部件 过滤精度0.003μm 推荐流量20～400L/min
- UCF系列： 管状部件 过滤精度0.01μm 推荐流量10～160L/min
- SPC系列： 管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量10L/min
- UCH系列： 过滤精度0.003μ 推荐流量40～200L/min
