日本pureron超高纯度小型气体净化器GP/GPF系列
日本pureron超高纯度小型气体净化器GP/GPF系列
超高纯度小型气体净化器 GP/GPF系列
- 不同条件下，可去除可惰性气体和特殊气体中1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
- 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L，不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
- HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分，100PPB（分析装置的检测界限）以下可以去除。
- 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小（长度84mm），仅重120g。
- 根据不同气体类型，350℃－400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
| 净化能力 | 杂质：1PPB以下 出口侧杂质合计：10PPB以下 （和条件相关） |
|---|---|
| 材质 | 外罩：SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 滤材：SUS316L 净化剂：金属･吸气剂、其它 |
| 流量范围 | 0.5LPM～20LPM（随类型/压力条件变化） |
| 使用压力 | 0.97MPa（140.65PSIG） |
| 使用温度 | 室温或者350～400℃（随用途变化） |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec 以下 |
| 连接零件 | 1/4"、3/8" Gasket seal、 Compression seal |
气体净化器
超高纯度气体净化器能够高效率除去惰性气体和特种气体中的水分、氧气、碳氢化合物等杂质。
- GP/GPF系列： 净化材料：金属、吸气剂、其它
- GPFC系列： 净化材料：单一球状活性炭
