日本富士工业fuji单组分密度计FUD-1 Model-130
产品总览
该模型在保持FUD-1 Model-13的优势（例如可维护性和高精度的在线测量）的同时，还具有用于半导体制造过程的小型单元变送器。
单组分密度计的特点
可以进行实时浓度测量，并且很容易建立浓度控制系统。
- 配备模拟DC 4至20mA和数字RS232C作为标准设备
- 标配测量误差输出和报警输出
- 配备自诊断功能和错误信息显示为标准配置
- 小巧轻便的电池式变送器可以直接安装在生产线上
- 由于使用PFA的润湿部件的质量和小产量设计，因此对化学溶液没有影响。
优点
- 高精度连续测量
- 免维护，无需定期调整和校准
- 易于安装，无需在安装过程中进行各种调整
- 通过实时输出轻松反馈到过程
用途
- CMP过程中的CMP浆料或氧化剂浓度控制等
- 控制稀释过程中各种化学品的浓度（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）
- 清洁过程中的清洁液浓度控制（HF，NH4OH，KOH，IP
日本富士工业fuji单组分密度计FUD-1 Model-130
规格
| 格式 | FUD-1模型13 | |
| 测量参数 | 超声波传播速度/温度 | |
| 展示 | LCD（浓度/温度/声速/各种参数） | |
| 输出信号 | 模拟DC4至20mA（可以自由设置浓度值） 数字RS232C（浓度/温度/声速/错误代码） 警报上/下限测量错误 | |
| 电源供应 | AC100V-240V 50 / 60Hz（也可以使用DC24V） | |
| 建造 | 面板安装类型（符合DIN标准），板载安装类型（可以选装在防雨箱中） | |
| 环境温度 | 0至50°C相对湿度85％以下（无冷凝） 0至100°C特殊规格-10至160°C（100°C宽度） | |
| 功能 | 输出范围设置，警报输出设置，浓度显示移动平均值，浓度显示偏移和增益设置功能，自诊断功能，故障保护功能，异常值取消 RS485输出（不能与RS232C同时输出） | |
| 选项 | 温度输出（DC4-20mA） | |
| 渠道 | 高达10ch | |
| 兼容发射器 | 型号13 ： SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5 | |
