ULTRA QV404 363 系列 — 超高精度 CNC 影像测量机
ULTRA QV404是实现了测量精度 E1xy=(0.25+L/1000)μm的超高精度CNC影像 测量机。
• 为了将直线度误差控制至最小,X、Y、Z3 轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的 空气轴承。 • 通过FEM(有限要素法)解析后的设计实 现了本体的高刚性化。 • 作为基准的测长方式采用了分辨力为0.01μm 的光学式线性编码器。 该编码器的线性膨胀系数为零,将温度变 化产生的误差控制到最小限度。 • 满足ISO10360-7:2011(JIS B7440-7.2015)的精 度保证。