稀释气流量范围：（0~5）SLPM、（0~10）SLPM、（0~20）SLPM可选
校正气流量范围：（0~50）sccm、（0~100）sccm、（0~200）sccm可选
流量控制精确度：±1%F.S.
流量线性：±（0.5~1）%F.S.
流量控制重复性：±0.2%F.S.
臭氧发生器输出：0.1μmol/mol ~6 μmol/mol（ppm）
响应时间：<60s（T98）
标气输入口：1个
稀释气输入口：1个
工作温度：5℃～40℃
工作湿度：0~95%RH
尺寸：178mm×432mm×620mm
重量：＜15kg（基本单元）
电源：100VAC~240VAC，45Hz~60Hz
模拟输出：10V、5V、1V、0.1V（可选）
通讯方式：RS232，RS485和以太网（选配）
