日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D
它是一个使用白光干涉技术的系统，可以无接触地测量包括台阶和粗糙度在内的三维形状。
Profilm 3D 适用于测量小样品，涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能，并且比传统产品更紧凑、更便宜。
各种测量模式，包括适合高精度测量微米级台阶和形状的垂直扫描干涉测量法 (WLI) 和适合测量纳米级形状和粗糙度的相移干涉测量法 (PSI)。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备，包括用于放大物镜的左轮、自动载物台以及便于操作、分析和管理测量数据的软件。
主要特点
- 低价！
在配备所有必要功能的同时实现低价 - 纳米级高分辨率
采用相移干涉法实现高分辨率 - 全标准设备
XY自动载物台，手动左轮，自动光强调节，自动对焦功能 - 紧凑的外壳
主体的占地面积为 30 x 30 cm 的紧凑设计。 - 配备 WLI 和 PSI 两种测量模式 一台设备即可
测量台阶测量和粗糙度测量 - 操作
简单 基本操作只是简单的鼠标操作 - 符合 ISO 标准的粗糙度测量符合
标准 ISO25178 - 可扩展性
多种物镜选择，数据拼接功能
日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D
主要应用
| 半导体 | 晶圆凸块、CMP焊盘等 |
|---|---|
| 医疗领域 | 注射针、人工关节、支架等 |
| 安装板 | 铜线、凸点、透镜等 |
测量规格
| 垂直扫描白光干涉测量法 (WLI) | 相移干涉测量 (PSI) | |
|---|---|---|
| 测量范围 | 50 纳米 – 10 毫米 | 0 – 3 微米 |
| 准确性 | 0.7% | —— |
| 再现性 | 0.1% | —— |
| 反射范围 | 0.05% – 99% | 0.05% – 99% |
设备规格
| XY自动载物台 | 100mm x 100mm |
|---|---|
| Z轴驱动范围 | 100mm |
| 压电驱动范围 | 500微米 |
| 扫描速度 | 12微米/秒 |
| 相机 | 2592 x 1944（500 万像素） |
| 体重 | 15公斤 |
