臭氧发生器产生的气体是一种很强但又不稳定的气体，在水溶液中，保持着很强的氧化性，作为杀生剂，作用机理与氧化性杀生剂有许多相同之处，该气体与蛋白结合，破坏细胞呼吸所*的还原酶的活性，可以从不同的部位注入冷却水系统，简单的冷却水系统中，只需一处加入就足够了，对于复杂的有多个支路的体系，则建议在不同的部位加入，使其在水中分布比较均匀。
臭氧发生器的气体氧化工业废水可大幅度降低废水的色度和COD，提高B、C比值即提高废水的可生化性，可广泛应用于印染、化工、电镀、制浆造纸、制药、洗毛、农药、酒精等各类工业废水的处理及处理水回用水工程。
印染废水有色度主要是含有大量的发色团状分子、长链分子、该气体是一种强氧化剂，氧化能力仅次于氟，氧化还原电位*，其氧化性具有选择性，会优选于水中的长链分子、发色基团发生反应，开环破链，将其氧化为无色的小分子。
废液中的色素多为有机物，可以快速分解这些有机物，与废水的有机物反应极为复杂，它主要是通过两种途径：即直接氧化反应和分解产生羟基自由基，氧化过程经废液中某些溶解五诱发，而产生一系列的自由基，新生态的自由基与废液中的有机物上的生色基团和双健快速发生反应，因及其强大的氧化能力破坏废水中发色基团，从而起到脱色 的作用。
该气体一般用在废水中的深度处理阶段，在生化之后或者排放之前投加。
如果按去除COD量计算，理论上其与COD比值为3：1，考虑利用率的问题，一般选型会偏大。其实际投加浓度主要还是取决于污水中的物质组成和要求达到的效果，一般由小试正交实验数据总结决定。
