恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater

恒温真空匀胶机/控温型匀胶机/真空匀胶烤胶机Spin Coater 

恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater 产品简介： 
主要用于液体，胶体在材料表面薄膜的形成，适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研，教育，生产中应用。 

可以完成有机物的匀胶。（摄氏温度200度以下）。 

完成匀胶时，还可以完成烤胶。 

采用空间式加热的控温型匀胶机，可以进行边加热边旋转的控温匀胶操作，对提高胶体流动性，加速溶剂挥发，匀胶后直接烤胶等操作提供了便利的解决方案。

控温精度高、重复性好，技术*，性能优良。

    标配4英寸真空吸盘，加热速度快，控温精度高。不同尺寸基片为保证紧密接触加热转盘，可定制设计更换。

恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater 特性：

1、空间式恒温加热，室温-200℃。精度0.1℃

2、可以完成有机物的匀胶。（摄氏温度200度以下）

 完成匀胶时，还可以完成烤胶。

3、可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。

4、每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态；

5、可以控制加速度

6、平稳转速，预设值与实际值误差率1‰。有视频为证（如想观看视频，请联系我）

7、端跳1mm的±2.5％

主要特点： 
高精度多程序控制器： 

可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。 

每个涂敷工艺过程可以设置25步不同的匀速度状态； 

加速度及负加速度可自主控制。 

液晶显示屏可以实时显示： 
      1.    第N个涂敷工艺过程 
      2.    所处工作段 
      3.    真空吸片状态。 
      4.    设置时间；及实时运行时间。 
      5.    设置速度；及实时速度状态。 

中英文两套操作系统供选择。 

人机交互式对话，简洁，明了。 

仪器真空吸片系统更安全： 
旋涂仪安装有真空度传感器，涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度， 
必须在安全的真空度下，电机启动，运行。保障可靠吸片，不飞片。 

频伺服电机，转速精度更高： 
300 - 10000转/分，转速稳定性：+ - 0.1 % 
转速10000转/分 

不锈钢机壳 聚四氟（塑料王）材质工作腔  
不锈钢机壳，外表面洁净光亮。美观，方便清洗。 

温度控制系统 ：
       工作腔内板式加热体，加热均匀。 
       控制温度范围：室温--摄氏温度200度。 
 聚四氟（塑料王）材质工作腔 

技术参数： 
     单相交流电源：220V.50Hz 
     电机功率：150W 
    旋转真空吸盘直径：4英寸（102mm，标准配置） 
     可选择配置：基片直径10—200mm可接受订货。 
     转数：300 - 10000转/分。 
     可设定时间：1---9999秒。 
     控制温度：室温--摄氏温度200度。 
     控制精度：1摄氏度 
 

标准包装： 
结构尺寸：260mm宽x 350mm深x 260 mm高, 
可选配件：

1、60升/分有油真空泵 

2、特殊真空吸盘 

3、70升/分无油真空泵