实验室气体质量流量计_德国kewill
原理&结构
FGM220 质量流量控制器（Mass Flow Controller）是一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控 制器产品。该产品配备有电磁比例阀、不锈钢1.4435接液材质、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、 响应速度快、稳 定性好等特点。 操作 使用方便，可任意位置安装，广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业 。
实验室气体质量流量计_德国kewill
特点
分析和环保 半导体加工 燃烧控制器 真空技术 表面处理 食品和制药 化工（石化）等过程控制
应用
温度和压力不敏感 *的零点稳定性 超快的响应速度 良好的重复性和再现性 多种信号输出方式 配备高*比例电磁阀
技术参数
核心参数说明 | |
介质要求： | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
介质种类： | 空气、氮气、氩气、二氧化碳 |
氦气、氢气、甲烷、氧气等 | |
量程： | 0...50/100/500/1000 SCCM(每分钟标准毫升) |
0...5/20 SLM(每分钟标准升) | |
精度： | 1.0% F.S |
1.5% F.S. | |
分辨率： | *低 0.01SCCM(每分钟标准毫升) |
响应时间： | ≤1S |
环境条件 | |
介质温度： | 0...50℃ |
工作温度： | -20...70℃ |
工作湿度： | 10%...90%RH（无结冰，无凝露） |
工作压力： | 0...10bar |
储存温度： | -20...85℃ |
电气参数 | |
供电电压： | DC24V |
功耗： | 2.4W |
启动时间： | <1S |
预热时间： | <10mS |
信号类型 | |
模拟信号（电流、电压） | |
接口类型： | D-SUB 9 针 |
电压信号： | 0...5V & 1...5V |
电流信号： | 4...20mA |
数字信号（RS485） | |
接口类型： | RJ45和D-SUB 9 针 |
通信速率： | 4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600, |
115200,28000,230400,256000,460800,500000 （可 | |
通过指令或者上位机修改） | |
协议： | RS485（默认 Modbus-RTU协议） |
设备地址： | 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) |
*大节点数： | 250 |
机械参数 | |
接头类型： | 卡套：8mm、12mm |
快插：6mm，8mm | |
协议定制 | |
主体材质： | 接液底座：阳极氧化铝合金 |
不锈钢1.4301(不锈钢304) | |
不锈钢1.4435(不锈钢316L) | |
外壳：碳钢 | |
密封材质： | FKM 氟橡胶 |
重量： | 铝：≈0.75kg |
不锈钢：≈1.5kg |
尺寸图
选型表
订货提示
1.订货时请注明介质流向，介质种类，管径及期望测量区间值。我们可在出厂时帮您完成精确校验。2.若是黏性介质，请注明黏度，温度及介质种类。
3.若是气体介质，请注明压力（表压/绝压),温度及介质种类。
