热式气体质量流量计生产厂家_德国kewill
原理&结构
FGM222系列质量流量控制器（Mass Flow Controller） 是基于流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所 开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、不锈钢1.4435接液材质、高精度微机电 流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面，带有工业级液晶触控显示屏，具备流量设置、瞬时 流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择：4-20mA 和 1-5V 模拟信号，以及 RS485 等数字 通信方式。
特点
温度和压力不敏感
优越的零点稳定性
超快的响应速度
良好的重复性和再现性
多种信号输出方式
采用液晶触控显示和控制
配备高duan比例电磁阀
应用
半导体加工
燃烧控制室
分析和环保
真空技术
表面处理
食品和制药
化工（石化）等过程控制
热式气体质量流量计生产厂家_德国kewill
技术参数
核心参数说明 | |
介质要求： | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
介质种类： | 空气、氮气、氩气、二氧化碳 |
氦气、氢气、甲烷、氧气等 | |
量程： | 0...50/100/500/1000SCCM(每分钟标准毫升) |
0...5/100 SLM(每分钟标准升) | |
精度 ： | 0.5% F.S. |
1.0% F.S. | |
分辨率： | *低 0.01SCCM(每分钟标准毫升) |
响应时间： | ≤1S |
环境条件 | |
介质温度： | 0...50℃ |
工作温度： | -20...70℃ |
工作湿度： | 10%...90%RH（无结冰，无凝露） |
工作压力： | 0...10bar |
储存温度： | -20...85℃ |
电气参数 | |
供电电压： | DC24V，纹波 ≤50mV |
功耗： | ≤3.2W（有屏幕） |
≤2.4W（无屏幕） | |
启动时间： | ≤1S |
预热时间： | ≤10mS |
通信接口 | |
模拟信号（电流、电压） | |
接口类型： | D-SUB 9 针 |
电流信号： | 4...20mA (线性对应量程) |
电压信号： | 1...5V (线性对应量程) |
数字信号（RS485） | |
接口类型： | RJ45和D-SUB 9 针 |
通信速率： | 4800 |
1280 | |
协议： | RS485（默认 Modbus-RTU协议） |
设备地址： | 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) |
最大节点数： | 250 |
机械参数 | |
过程连接类型： | 卡套：8mm、12mm |
快插：6mm，8mm | |
协议定制 | |
主体材质： | 接液底座：AlZnMgCu1.5/3.4365铝合金（7075航空铝） |
不锈钢1.4301(不锈钢304) | |
不锈钢1.4435(不锈钢316L) | |
外壳：碳钢 | |
密封材质： | FKM 氟橡胶 |
重量： | 铝：≈0.75kg |
不锈钢：≈1.5kg |
尺寸图
选型表
