1. 效率高、阻力低、容尘量高;
2. 重量轻、厚度薄;
3. 安装方便、运行成本低。
二、应用领域
广泛用于超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、无尘室、超净实验室、超净工作台等其他要求超高洁净度的场合。
三、设计特点
1. 主要用于过滤0.12μm以上的空气悬浮颗粒,作为十级与一级过滤系统的末端过滤。
2. 滤料采用美国HV超细玻璃纤维滤纸制成,以热熔胶为分隔。
3. 此设计降低了运行成本,无隔板的热塑性隔胶可以确保相同褶层间距,保证了气流通过,达到高容尘量,充分利用了过滤器整个深度的滤材。
4. 外框采用经阳极处理增加强硬度及耐久的防腐性。
5. 过滤器四周均用特殊密合剂密封,确保整个过滤器的密封性。
6. 在过滤器进、出风面加装喷塑护网,以保护滤纸不被损坏。
7. 每台过滤器均经严格测试。
8. 过滤效率等级:U15、U16、U17(EN1822)。
四、材料构成与运行条件
滤料 | 美国HV超细玻璃纤维滤纸 |
密封胶 | PU双组份聚氨脂AB胶 |
框材 | 铝型材框、铝板折框、镀锌框、不锈钢框 |
防护网 | 喷塑菱形网 |
分隔物 | EVA热熔胶 |
密封胶条 | EVA或氯丁橡胶 |
过滤效率 | U15:99.999-99.9995%@0.12μm U16:99.9999-99.99995%@0.12μm U17:99.99999-99.999995%@0.12μm |
使用温度 | 70℃ |
使用湿度 | 99% |
外形尺寸(W*H*D)(mm) | 额定风量(m³/h) | 过滤面积(m²) | 容尘量(g) | 初阻力(Pa) | 终阻力(Pa) | 过滤效率 |
320*320*50 | 150 | 1.99 | ≈160 | ≤150 ≤160 ≤170 | 400-600 | U15 U16 U17 |
484*484*50 | 300 | 4.51 | ≈360 | ≤150 ≤160 ≤170 | 400-600 | U15 U16 U17 |
610*610*50 | 450 | 7.13 | ≈570 | ≤150 ≤160 ≤170 | 400-600 | U15 U16 U17 |
915*610*50 | 650 | 10.58 | ≈850 | ≤150 ≤160 ≤170 | 400-600 | U15 U16 U17 |