亚微米3D 观察/ 测量
观察纳米范围的台阶，并可测量亚微米级别的高度差。
合规表面粗糙度测量
可测量从线到面的表面粗糙度。
非接触，无损，并且快捷
无需制备样品 - 只需将样品放在载物台上即可测量。
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和好的分辨率图像。
[ 获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[ 获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。
405纳米激光光源
光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光（峰值550纳米）的传统显微镜
具有好的横向分辨率。OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得好横向分辨率。
激光共焦光学系统
激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线，并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊，让其能够获得
比普通显微镜对比度高的图像。
X-Y扫描仪
OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结
合，能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置，因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的X-Y扫描。
输出可靠数据的技术
采用以前的物镜，像差让其不容易准确测量周边区域。 用LEXT 物镜能够准确测量周边区域。
捕捉陡峭斜面形状
4K扫描技术
具有大角度斜面的样品（剃刀刀片）
以前的型号 ：无法准确测量陡峭斜面。 OLS5000 显微镜 ：可准确测量接近87.5° 的大角度斜面。
自动获取数据
智能判别功能
测量噪声被错误地作为修复图 显示测量噪声，一定程度地降低检
测结果模棱两可的风险。
以前的型号 ：消除噪音的同时也消除了原始数据。 OLS5000 显微镜 ：自动检测数据和噪音，从而实现准确的形状测量。
快速获得可靠数据
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，从而实现生产力的提升。
使用简便 - 只需放好样品按下按钮即可
LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能，因而无需进行复杂的设置调整。 生疏的用户也可以获得可靠的检测结
果。
便捷分析
测量区域。
分析和报告已经完成。
减少重复测量的差异
创建报告
当这些步骤被设定为默认模板时，
下次将自动执行生成报告的所有步
骤。
低功率输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳接近210毫米的样品，而
长工作距离物镜能够测量深度接近25毫米的坑。在测量这两类样品时，您只需将样品放在载物台上即可。
可测量高210毫米的样品：适应各类样品
提供可靠数据
检测细微纹理和缺陷
好的横向分辨率
405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷。
奥林巴斯扫描技术
MEMS扫描振镜
奥林巴斯 MEMS 扫描振镜能够实现较低扫描轨迹失真和小光学像差的X-Y 扫描。有些激光显微镜无法避免视场周边区域测量值的波动，但是 OLS5000
显微镜不论是测量视场中心还是边缘，均可获得一致的结果。
检测陡峭斜面和近纳米级台阶的形貌
4K 扫描技术
4K 扫描技术可在 X 轴方向扫描 4096 像素，是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了两倍。OLS5000 显微
镜无需图像处理就能检测接近垂直的陡峭斜面和低的台阶。
PEAK 算法
OLS5000 显微镜采用了用于 3D 数据构建的 PEAK 算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据，并可缩短数据采
集时间。
自动选择数据采集的适合通道
双共焦系统
双共焦系统由采用不同孔径的两个共焦光学通道组成。根据镜头类型和数据采集模式选择适合通道，实现可靠数据的快速采
集。
积极的可追溯性
为确保高质量的产品性能，OLS5000显微镜从物镜到激光头的每个组件均采用严谨的生产系统制造而成。测量结果于工业标准相关的可追溯系统。
在显微镜交付时，工程师将进行系统的调整和校准，根据您的应用将显微镜调整到好的状态。
对您的测量结果有信心
好的准确度和重复性
测量工具的性能通常用准确度表示测量值与其真实值的接近程度，用重复性表示重复测量值的变化程度。奥林巴斯以基于可追溯系统的显微镜准
确度和可重复性，从而让您对测量结果有信心。
| 型号 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 总倍率 | 54x - 17,280x | |||||
| 视场直径 | 16um - 5,120um | |||||
| 测量原理 | 光学系统 | 反射式共聚焦激光扫描激光显微镜 反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 彩色 彩色DIC | ||||
| 光接收元件 | 激光：光电倍增管（2ch） | |||||
| 高度测量 | 显示分辨率 | 0.5nm | ||||
| Linear scale | 0.78nm | |||||
| 动态范围 | 16 bits | |||||
| 重复性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
| 准确性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
| 测量噪声*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
| 宽度测量 | 显示分辨率 | 1nm | ||||
| 重复性 *1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
| 准确度*1 *3 *6 | 测量值 +/- 1.5% | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
| 单次测量时测量点的数量 | 4096 x 4096 pixel | |||||
| 测量点的数量 | 36 Mpixel | |||||
| XY 载物台配置 | 长度测量模块 | • | 无 | 无 | • | 无 |
| 工作范围 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
| 样品高度范围 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
| 激光光源 | 波长 | 405nm | ||||
| 输出 | 0.95 mW | |||||
| 激光分类 | 2类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| 彩色光源 | 白光 LED | |||||
| 电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
| 质量 | 显微镜主体 | 约31 kg | 约 32 kg | 约 50 kg | 约43 kg约 | 44 kg |
| 控制箱 | 约12 kg | |||||
