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电子级HF浓度在线分析仪

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  • 公司名称上海京度电子科技有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/1/20 13:05:31
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我们的使命是提供创新的高质产品和优质服务。我们将我们的传统与我们的承诺相结合,以满足客户的各种需求。我们的目标是为我们的客户提供*满意的服务,促进我们的员工不断发展进步,提高我们公司的价值。我们的折射计产品已经成为纸浆和造纸、食品和化工等行业的*标准。

在线折光仪,在线硫酸浓度仪,在线双氧水浓度仪,在线DMAC浓度仪
E-Scan系列电子级HF浓度在线分析仪采用临界角检测原理,检测不受物料的颜色,浑浊度,气泡,固体颗粒等杂质的影响、具备高精度的自动温度补偿功能。
电子级HF浓度在线分析仪 产品信息

电子级HF,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中*的关键基础化学试剂,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。

从纯度上来讲,电子级和分析纯的化学品,相对于普通化学品,其纯度都很高,杂质含量少,但是两个属于不同的标准体系,对杂质的关注点不一样。 电子级是对用于电子元器件生产过程中使用的化学品的一种泛指,相对于一般工业,其纯度要求更高,尤其是平板显示行业或者半导体行业。其更每种化学品更中的有害杂质含量,金属离子,固体颗粒等等。用于半导体工业的电子级化学品纯度一般比分析纯的化学试剂更高,可参考SEMI相关化学品的标准。对于芯片生产过程来说,一般情况下,纯度会在99.999%数量级,12寸芯片生产可能会用到99.999999999%纯度的化学品。 分析纯是化学试剂的一个纯度标准,这个系列里包括 优级纯,分析纯,化学纯和实验纯。其中分析纯干扰杂质很少,适用于工业分析及化学实验,比如用于滴定之类的分析。

在复杂的芯片生产工艺中,盐酸也是*的试剂。

 

电子级HF生产工艺技术特征

1. 杂质砷是电子级HF中需要控制的一种重要杂质指标,在HF原料中砷一般以三价态形式存在,而且AsF3与HF的沸点相差不大,所以仅靠精馏对其分离的效果不会十分理想。为去除杂质砷,可在精馏前,加入适量的强氧化剂(如等)将三价态的砷进行氧化,使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。

2. 生产设备与工艺:生产设备全采用碳钢衬聚四氟乙烯材料,生产工艺采用常压、全封闭、连续化,采用热水低温(小于100度)精馏.蒸馏工艺,工艺参数采用DCS集散控制系统生产。

3. 高纯水制备:通过离子交换与过滤器先制得普通纯水,再经过反渗透、电渗析后进入杀菌、超微过滤制得高纯水。

4. 在无水HF预处理槽边、精馏塔及蒸馏塔边、成品包装区设置HF有毒气体浓度探测、集中报警系统。

5. 设置尾气吸收塔、碱吸收塔,尾气可达标排放。

 

电子级HF质量指标

目前,因各微电子生产企业对电子级HF要求的标准不同,可将其划分为四个档次:①低档产品,用于>1.2μmIC工艺技术的制作;②中低档产品,适用于0.8~1.2μmIC工艺技术的制作;③中高档产品,适用于0.2~0.6μmIC工艺技术的制作;④高档产品,适用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工艺技术的制作。

产品包装方法:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况,按品种进行分类,每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不同工艺技术的等级

 E-Scan系列电子级HF浓度在线分析仪采用临界角检测原理,检测不受物料的颜色,浑浊度,气泡,固体颗粒等杂质的影响、具备高精度的自动温度补偿功能。采用优秀的分体式体式,全屏蔽抗干扰设计,光电信号直接转换处理。摒弃一体式不耐振动和高温的影响的缺点,保障了在线测量的精度及延长仪器使用寿命。内置光纤光路传导系统,拥有优秀的抗震性能和高稳定性、内置温度传感器和干燥剂有效监测糖度仪的运行状态。

E-Scan系列电子级HF浓度在线分析仪可以安装在不同管径的管道或者罐体容器壁上,进行浓度监测和控制,可以直接显示质量*(Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用户自定义的单位,现场显示并可以模拟信号(RS232)远传至电脑进行即时数据存储、打印、追溯等功能;通过4-20ma信号远传至plc/dcs /变频器进行监控或控制。

E-Scan系列电子级HF在线分析仪拥有以下特征:
●316ss材质的传感器使其满足化工、半导体行业的要求并且耐温高达150℃;
●免维护、无耗材、无漂移、自诊断功能,智能报警信号输出功能;
●防护等级:NEMA4X(IP67);
●自动温度补偿(软件拥有丰富的产品线性数据库和温度补偿数据库);
●多组4-20maA模拟信号及数字信号输出(隔离,非隔离可选);
●3648高分辨率的CCD;
●多种报警信息输出显示(高低/高高/低低/偏差);
●可循环的干燥剂,无耗材,免维护;
●光源为589nmled灯,寿命长达100000小时;
●安装适配器标准:PTFE,Tantalum、Alloy20、teflon;
●高精度,高品质“美国制造” 

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