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三独立智能型滑轨PECVD PECVD-III-500A-SSSL 实验室臭氧发生机

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  • 公司名称重庆开衡科技有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/3 9:27:37
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重庆开衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有着高等学历、优良品质、丰富经验的专业人士组建的一家客户驱动型企业。 公司自成立以来,不断拓宽资源渠道,完善产品结构,积累专家智库,提高本地化服务水平。致力打造科学研究、分析检测相关实验室设备和消耗品“一站式”采购平台,帮助客户建设一个完备可靠的实验室。 一个渠道,无限解决方案。开衡科技提供所有实验室仪器和设备的支持和供应管理,不限生产厂家,凭借我们专业技术和服务能力,帮助客户用更少资源和更低成本提高生产力。 我们的产品包括:天平、箱类控温系统、离心机、加压电泳液相色谱、离子色谱、水质检测仪器、样品低温存储设备、细胞培养设备、样品离心及浓缩处理系统、微孔板分析仪器、实验室纯水、恒温产品、质量控制检测设备、自动化设备、移液器,以及实验室塑料制品和玻璃器皿、色谱柱、订制实验室家具等等。 开衡科技以丰富的选择,便捷的网络,迅速有效的售后服务,为重庆地区各大专院校、科研院所、工业单位,涉及制药、环监、食品、农业、医学、化工、石化、材料、电子等行业的科技工作者提供服务和支持。多年实干,公司在用户中已赢得广泛赞誉,并成为重庆地区科学仪器行业内受尊敬的供应商之一。
实验室仪器设备,,
主要特点一、此设备的高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶
三独立智能型滑轨PECVD PECVD-III-500A-SSSL 实验室臭氧发生机 产品信息

主要特点

一、此设备的高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用 K 型热偶。30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为10寸工控电脑,内置PLC控制程序,可将温控系统、滑轨炉滑动(时间和距离)设定为程序控制。同时系统设置了超温、 欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。

二、PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式,低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。

技术参数

设备整体结构

加热原件

电阻丝

额定电压

AC220V/380V 50/60HZ

功率

7KW

Z高温度

1200℃

炉管尺寸

外径Φ60*2330mm

加热区长度

230+230+230mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制。

触屏操控界面

设备重量

约300KG

三温区滑轨炉


加热区长度

230mm+230mm+230mm

炉管长度

Φ60*2330mm 壁厚3mm

控温精度

±1°C

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

密封方式

不锈钢真空法兰密封

射频电源

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

5W-500W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

冷却方式

强制风冷

真空部分


真空泵

DRV-16

泵抽速

16m³/h

极限真空

5X10-1Pa


关键词:真空泵
15700104732
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