技术原理：
（1）采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。
（2）放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
（3）基本过程：
过程一：高能电子的直接轰击
过程二：O原子或臭氧的氧化O2+e→2O
过程三：OH自由基的氧化H2O+e→OH+H、H2O+O→2OH、H+O2→OH+O
过程四：分子碎片+氧气的反应
应用对象：
（1）等离子体产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分有毒有害物质均能被分解，且处理对象广泛，对《国家恶臭污染控制标准》中规定的八大恶臭物质硫化氢、氨、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯、二甲二硫均能有效去除
（2）禁止用于处理含易燃易爆等挥发性物质的废气（比如喷漆废气、喷涂废气、炼油化工废气、含汽油酒精废气、含天那水废气、含沼气废气等等）。
