艾里卡特LC系列液体流量控制器采用小型比例阀门控制较小液体流量。在2ccm或更小流量下运行的控制器将采用高性能阀门,确保对这类极小的流量实现控制。
LC-0.5CCM-D-PCA11
LC-1CCM-D-PCA12
LC-2CCM-D-PCA13
LC-5CCM-D
LC-10CCM-D
LC-20CCM-D
LC-50CCM-D
LC-100CCM-D
LC-200CCM-D
LC-500CCM-D
艾里卡特LCR系列液体流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite比例阀,控制较高的液体流量。
LCR-1LPM-D
LCR-2LPM-D
LCR-5LPM-D
LCR-10SLPM-D
艾里卡特腐蚀性液体用LCS系列液体流量控制器采用小型比例阀控制较小液体流量。在2ccm或更小流量下运行的控制器将采用高性能PCA阀门,确保对这类极小的流量实现控制。某些腐蚀性液体也可能要求PCA阀门具备316L材质流道。
LCS-0.5CCM-D-PCA11
LCS-1CCM-D-PCA12
LCS-2CCM-D-PCA13
LCS-5CCM-D (-PCA13)
LCS-10CCM-D (-PCA14)
LCS-20CCM-D (-PCA14)
LCS-50CCM-D
LCS-100CCM-D
LCS-200CCM-D (-PCA17)
LCS-500CCM-D (-PCA17)
艾里卡特腐蚀性液体专用LCRS系列液体流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,控制较高的液体流量。
LCRS-1LPM-D
LCRS-2LPM-D
LCRS-5LPM-D
LCRS-10SLPM-D