低温等离子体废气净化设备VOCs机理
电子在外加电场的作用下，从电场中获得能量，成为高能电子，这些高能电子速度很快，在与污染物接触时，通过非弹性碰撞将其自身携带的能量传递给污染物，转化为汚染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，一方面这些活性基因与污染物分子通过化学反应，然后生成ＣO2和H2O，另一方面当污染物分子获得的能量大于其自身结合键能时，污染物分子的分子键断裂，分解成无害的气体或单质原子。
等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子，空气中的氧气和水被电离后，变成氧原子和氢原子，氧原子与氧气和其他单原子结合时，产生大量OH、H2O、O等活性自由基和氧化性强的O3，这些自由基与有害气体分子发生一系列复杂的化学反应，最后生成无害或者低害产物。
低温等离子体废气净化设备低温等离子体净化设备等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。
放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。等离子体技术目前主要有四个领域，分别是介质阻挡放电（双介质、单介质）、*放电（金属、纤维）、板式放电、微波放电，在实际应用中多采用组合模式。
在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击废气分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
物理作用表现在极板具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染顿发生非弹性碰撞并附着在其表面上从而使其荷电，在外加电场的作用下，荷电的颗粒物向集尘极移动，并被集尘极收集。
生物作用表现在具有消毒杀菌的作用。等离子体中的正负粒子使微生物表而产生的电能剪切力大于巧纳胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而导致微生物死亡。
