外型尺寸：
长*宽*高 2080mm*700mm*1520mm
管炉规格：
外径：100mm
内径：96mm×长：1800
加热炉主要参数：
•温度：1200℃
•额定工作温度：1100℃
•推荐升温速率:≤10℃/min
•加热区长度：L总：440mm（双温区包括隔环)
温区一：200mm
温区二：200mm
•加热炉额定功率：3KW
•滑动方式：电动控制
•滑动行程：600mm
•电压：单相AC 208 - 240V, 50HZ
温控系统：
•欧陆EPC3000仪表
•模糊PID控制和自整定调节功能
•智能化24段可编程控制
•带过电流过电压保护漏电保护
•电气元件及电缆，冷压端子均符合UL认证标准
•控温精度：±0.1℃
•控温：K型热电偶两根
•通讯协议：modbus RTU
软件控制：
•可视化运行状态监控
•温控系统，气路系统，真空系统，射频系统，滑动炉体，开合炉体，压力控制，全自动化，
•数据记录、过程记录集成一体
•“预制工作流程，一键自动运行
•具有恒压功能，可以设定气体流量和恒定压力
压力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的双旋真空泵，在总进气量为100-150sccm，管内压力为 100-130pa，如总进气量高于150sccm时，请更换抽速更高的泵，测试为总进气量为1L/min（满足四路质量流量计全开状态时），使用VRD-60泵（抽速18L/s），真空为120-130pa（满足起辉条件）,可在任意供气量下设定任意气压值（该气压值需大于搭配泵体的真空值），气压值可自动稳定
新式快捷法兰：
可方便快速取放物料
射频电源：
• 500W射频电源
•0--500W可调（稳定性±1%）
•射频频率：13.56MHZ
•自动匹配 风冷
•噪音<50dB
•输入电压：AC108-250V
供气系统：
•四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）
•流量范围：一路0-100 sccm
二路0-200 sccm
三路0-200 sccm
四路0-500 sccm
注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下
真空系统：
•搭配TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）（总进气量小于150sccm，该泵可以达到等离子发生真空度）
•搭配TRP-60双旋真空泵（抽速10L/s）（总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度）
• KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵
•真空度可达10-2torr
备注：
注：采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试；(有法兰过热情况)
