上海百级洁净烘箱：
光刻工艺的八道工序为：晶圆清洗、预烘培和底漆涂敷、光刻胶自旋涂敷、软烘烤、对准和曝光、曝光后烘烤，以及显影、硬烘烤和图形检测，然而工艺中的烘烤步骤需要百级洁净烘箱来完成。百级洁净烘箱也应用于精密电子元件、高温烘烤、坚膜烘烤、半导体元件封装、治具干燥、银胶固化、晶圆退火、芯片高温测试、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.
上海百级洁净烘箱技术性能：
无尘等级：Class 100;
温度范围： RT+20～250/ 350/500℃；
温度均匀度：±2%℃;
温度波动度：±1℃
温控精度：±0.1℃;
工作尺寸：350*350*350,450*450*450*,500*500*500,600×600×500，多尺寸定制
百级洁净烘箱操作界面
采用液晶触摸屏温度控制器，内置曲线查询、
PID自整定、高温上限报警、
运行方式：定值、程式
语言：中、英文
智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）用途：
将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）特点：
HMDS 药液泄漏报警提示功能
HMDS低液位报警提示功能
工艺数据记录功能
药液管道预热功能
程序锁定保护等功能
智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）技术性能：
1.尺寸（深*宽*高）
内腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）
2. 材质
外箱采用冷轧板喷塑，内箱采用 316L 医用级不锈钢
3.温度范围
RT+50-250℃
4.温度分辨率
0.1℃
5.温度波动度
≤±0.5
6 真空度
≤133pa（1torr）
7.电源及总功率
AC 220V±10% / 50HZ，总功率约 3.5KW
8.控制仪表
人机界面
9.搁板层数
2 层
10.HMDS控制
可控制HMDS 药液添加量
11.真空泵
无油涡旋真空泵
