5英寸近距离蒸发镀膜炉（CSS）OTF-1200X-RTP-II-5

炉体结构和真空腔体

• 采用两个温度控制器，分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计，可向真空腔体中通入气体
• 真空腔体为一高纯的石英管，其尺寸为：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法兰

• 真空法兰为316不锈钢制作
• 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
• 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
• 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，体内真空度可达10^-2 torr.

加热元件和载样台

• 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部
• 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节，调节范围为：2-50mm
• 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）
• 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性
• 底部载样台上可放入5"x5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料
• 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（16L/m)

  

温控系统

• 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序
• 每个温控系统都带有超温和断偶保护
• PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中
• 控温仪表操作视频
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工作温度

• 高工作温度为：800℃
• 两个加热区之间的大温差为300℃

加热和冷却速率

• 加热速率> 8ºC/s（每个温区单独加热）
• 冷却速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

热电偶

两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触

工作电压

208 - 240VAC, 单相,（需要20A的空气开关）

功率

3000W

可选

• 实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵
• 采用机械泵可使腔体内的真空度达到< = 10E-2 torr
• 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵
• 也可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中
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质保

一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管）