化工行业中的超纯水设备主要应用于电池行溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合，纯水电导率从0.1uS/cm-20uS/cm。化工行业用超纯水设备一般采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水，的超纯水制备工艺。不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，化工行业用超纯水设备对环境无破坏性。
设备优点：
◆出水水质具有的稳定度。
◆能连续生产出符合用户要求的超纯水。
◆模块化生产，并可实现PLC全自动控制。
◆不需酸碱再生，无污水排放。
◆不会因再生而停机。
工艺：
◆采用离子交换方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
◆采用二级反渗透方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
◆采用EDI方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
