喷漆房等离子废气净化设备利用制的能臭氧UV紫外线光束照射有机气体及空气中的氧分子，裂解有机气体的分子键，并分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游离状态的分子与臭氧氧化结合成小分子无害或害的化合物，如CO2、H2O等。从而达到净化气体的效果。
反应工程式：
1、UV + 分子有机物→分子有机物
2、UV + 空气( O2) →O3
3、分子有机物+ O3→ CO2+ H2O +N2
降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。等离子废气净化器采用了吸附-分解-碳化 离心式抽风安装新工艺技术设计，采用标准模块设计等优点，是一种干法处理有机废气的净化设备。它改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，换及维护保养方便。
喷漆房等离子废气净化设备是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应已达到分解污染物的目的。低温等离子体是相对于高温等离子体而言，属于常温运行。
低温等离子体工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易使污染物分子分解且处理能耗低等特点
