氮化硅 ■氮化硅分子式为Si3N4,是一种重要的结构陶瓷材料。 ■它是一种超硬物质,本身具有润滑性,并且耐磨损; ■涂喷在坩埚表面,在加热作用下,使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面,形成粉状涂层, ■涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离,使液态硅不与石英坩埚反应,而使石英坩埚破裂,及冷确后zui终保证硅碇脱膜完整性。 ■技术指标
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