图1
型号 | HSR-C3200 | HSR-C3200D | HSR-C3200G | ||
图像传感器 | 500 万像素 CMOS | 2000 万像素 CMOS | |||
显示器 | 机身显示器 | 10.4 英寸LCD 显示器（XGA：1024×768） | |||
外接显示器 | 24 英寸 LCD 显示器（XGA：1920×1080） | ||||
受光镜头 | 双远心镜头 | ||||
照明系统 | 落射系统 | 四分割照明（白光）、环状指向性照明（绿色） | |||
透射系统 | 远心透过照明（绿色） | ||||
测量视野 | 广视野(㎜) | 200×200（4 角 R50） | 200×200（4 角 R50） | 200×200（4 角 R50） | |
高精度(㎜) | / | 130×130 | 130×130 | ||
图像测量 重复精度 | 广视野 | 载物台未移动 | ±1μm | ±1μm | ±1μm |
载物台移动 | ±2μm | ±2μm | ±2μm | ||
高精度 | 载物台未移动 | / | ±0.5μm | ±0.5μm | |
载物台移动 | / | ±1.5μm | ±1.5μm | ||
图像测量 测量精度 | 无拼接*1 | 广视野 | ±5μm | ±5μm | ±5μm |
高精度 | / | ±2μm | ±2μm | ||
有拼接*2 | 广视野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | ±(4+0.02L)μm | ||
测量软件 | VisionX | ||||
显示分辨率 | 0.1μm | ||||
XY 电动载物台 | X 移动范围 | 110 mm | |||
Y 移动范围 | 110 mm | ||||
承重 | 5kg | ||||
Z 向电动载物台 | 移动范围 | 75 mm | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 531×386×731 （mm） | 531×386×731 （mm） | 531×386×731 （mm） | ||
重量 | 48kg | 49kg | 49kg | ||
工作电源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | ||||
工作环境 | 温度 10℃~35℃，湿度 20~80%（无凝结） | ||||
*1在调焦位置，使用环境温度为 20°C±1°C 时。
*2在调焦位置，使用环境温度为 20°C±1°C 时、载物台上搭载重量为 2kg 以下、L 为载物台移动量（mm)。
图2
型 号 | HSR-C3030 | HSR-C3030D | ||
图像传感器 | 500 万像素 CMOS | |||
显示器 | 机身显示器 | 10.4 英寸 LCD 显示器（XGA：1024×768） | ||
外接显示器 | 24 英寸 LCD 显示器（XGA：1920×1080） | |||
受光镜头 | 双远心镜头 | |||
照明系统 | 落射系统 | 四分割照明（白光）、环状指向性照明（绿色） | ||
透射系统 | 远心透过照明（绿色） | |||
测量视野 | 广视野(㎜) | 20×L130 | 20×L130 | |
高精度(㎜) | / | 6×L116 | ||
图像测量 重复精度 | 广视野 | 载物台未移动 | ±0.5μm | ±0.5μm |
载物台移动 | ±1μm | ±1μm | ||
高精度 | 载物台未移动 | / | ±0.1μm | |
载物台移动 | / | ±0.5μm | ||
图像测量 测量精度 | 无拼接*1 | 广视野 | ±2μm | ±2μm |
高精度 | / | ±0.7μm | ||
有拼接*2 | 广视野 | ±(4+0.02L)μm | ±(4+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(2+0.02L)μm | ||
测量软件 | VisionX | |||
显示分辨率 | 0.1μm | |||
XY 电动载物台 | X 移动范围 | 110 ㎜ | ||
Y 移动范围 | ------ | |||
承重 | 2kg | |||
Z向电动载物台 | 移动范围 | 35 ㎜ | ||
标尺精度 | ------ | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×280×670 ㎜ | |||
重量 | 30kg | |||
工作电源 | 100-240VAC,50/60Hz,2A 功率 300W | |||
工作环境 | 温度 10℃~35℃，湿度 20~80%（无凝结） | |||
*1在调焦位置，使用环境温度为+20℃±1.0℃时。
*2在调焦位置，使用环境温度为+20℃±1.0℃时、载物台上搭载重量为 1kg 以下、L 为载物台移动量（㎜）。
图3
型 号 | HSR-C3100 | HSR-C3100D | ||
图像传感器 | 500 万像素 CMOS | |||
显示器 | 机身显示器 | 10.4 英寸 LCD 显示器（XGA：1024×768） | ||
外接显示器 | 24 英寸 LCD 显示器（XGA：1920×1080） | |||
受光镜头 | 双远心镜头 | |||
照明系统 | 落射系统 | 四分割照明（白光）、环状指向性照明（绿色） | ||
透射系统 | 远心透过照明（绿色） | |||
测量视野 | 广视野(㎜) | Φ100×L200 | Φ100×L200 | |
高精度(㎜) | / | 20*L130 | ||
图像测量 重复精度 | 广视野 | 载物台未移动 | ±1μm | ±1μm |
载物台移动 | ±2μm | ±2μm | ||
高精度 | 载物台未移动 | / | ±0.5μm | |
载物台移动 | / | ±1.5μm | ||
图像测量 测量精度 | 无拼接*1 | 广视野 | ±5μm | ±5μm |
高精度 | / | ±2μm | ||
有拼接*2 | 广视野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | ||
测量软件 | VisionX | |||
显示分辨率 | 0.1μm | |||
XY电动载物台 | X 移动范围 | 110 ㎜ | ||
Y 移动范围 | —— | |||
承重 | 2kg | |||
Z向电动载物台 | 移动范围 | 35 ㎜ | ||
标尺精度 | —— | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×280×670 ㎜ | |||
重量 | 31kg | |||
工作电源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | |||
工作环境 | 温度 10℃~35℃，湿度 20~80%（无凝结） | |||
*1在调焦位置，使用环境温度为+20℃±1.0℃时。
*2在调焦位置，使用环境温度为+20℃±1.0℃时、载物台上搭载重量为 1kg 以下、L 为载物台移动量（㎜）。
图4
型 号 | HSR-C3300 | HSR-C3300D | |||||
图像传感器 | 500 万像素 CMOS | ||||||
显示器 | 机身显示器 | 10.4 英寸 LCD 显示器（XGA：1024×768） | |||||
外接显示器 | 24 英寸 LCD 显示器（XGA：1920×1080） | ||||||
受光镜头 | 双远心镜头 | ||||||
照明系统 | 落射系统 | 四分割照明（白光）、环状指向性照明（绿色） | |||||
透射系统 | 远心透过照明（绿色） | ||||||
测量视野 | 广视野(㎜) | 300×200（4 角 R50） | 300×200（4 角 R50） | ||||
高精度(㎜) | / | 230*130 | |||||
图像测量 重复精度 | 广视野 | 载物台未移动 | ±1μm | ±1μm | |||
载物台移动 | ±2μm | ±2μm | |||||
高精度 | 载物台未移动 | / | ±0.5μm | ||||
载物台移动 | / | ±1.5μm | |||||
图像测量 测量精度 | 无拼接*1 | 广视野 | ±5μm | ±5μm | |||
高精度 | / | ±2μm | |||||
有拼接*2 | 广视野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | ||||
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | |||||
测量软件 | VisionX | ||||||
显示分辨率 | 0.1μm | ||||||
高度测量*3 | 可测量范围（XY) | 120 ㎜×110 ㎜ | |||||
孔深比（h/φ） | 1.5 | ||||||
Z轴不移动 | 高度 | ±3.7 ㎜ | |||||
精度 | ±2μm | ||||||
Z轴移动 | 高度 | 70 ㎜ | |||||
精度 | ±(6+L/100)μm | ||||||
测头光点直径 | Φ38μm | ||||||
分辨率 | 0.25μm | ||||||
支持触发测头 | 支持 | ||||||
XY 电动载物台 | X 移动范围 | 210 ㎜ | |||||
Y 移动范围 | 110 ㎜ | ||||||
承重 | 5kg | ||||||
Z 向电动载物台 | 移动范围 | 75 ㎜ | |||||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×503×731 ㎜ | 500×503×731 ㎜ | |||||
重量 | 74kg | 75kg | |||||
工作电源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | ||||||
工作环境 | 温度 10℃~35℃，湿度 20~80%（无凝结） | ||||||
*1在调焦位置，使用环境温度为 20°C±1°C 时。
*2在调焦位置，使用环境温度为 20°C±1°C 时、载物台上搭载重量为 2kg 以下、L 为载物台移动量（㎜）。
*3需选配光学高度测量传感测头。
