概要
UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效,响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造,使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里声名,广受市场推崇。
特征
- 可使用DeviceNet控制接口
- 符合环保要求的RoHS处理
規格
Specifications of analog communication model
Specifications of Devicenet™ communication model
产品相关图及其它

备件

电源PE-D20
PE-D20控制单元通过前端面板控制高频集成功能

电源PE-D10
PE-D10是一个独立的设备应用于质量流量计

专用电源PE系列
专用电源PE系列可向质量流量控制器、质量流量计、压力调节器提供稳定的电源并具有显示功能,此外还能提供稳定的标准流量设定电压。此系列包含了流量输出警报功能,提供0信号以及4-20mA,并能同时适用于6个流量控制器。

显示器 DU系列
它是显示质量流量控制器・质量流量计的流量输出信号的单元装置。根据质量流量控制器・质量流量计的全标度流量值,可以直接读取控制・测量流量。