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208HR 高分辨率镀膜仪(离子溅射仪)

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称广州科适特科学仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号208HR
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/8/26 10:42:20
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广州科适特科学仪器有限公司(Guangzhou Koster Scientific Instrument Co., Ltd.)位于广州市天河区,是一家专注于生物医学和光电领域的显微成像设备及耗材的研发、系统集成、技术推广、销售业务和科研服务的高技术企业,具有进出口贸易资质。公司经营的产品集中在各类显微成像配件,各类显微镜荧光光源。加拿大"LUMEN DYNAMIC"荧光显微镜光源系列产品合作伙伴。德国“ibidi”品牌细胞功能实验耗材及试剂,流体剪切力设备和显微镜活细胞培养装置广东,广西,云南,贵州,湖南,海南,新疆,青海,甘肃,四川,宁夏,内蒙古,黑龙江,辽宁等地代理和服务商。美国”Corning”品牌仪器一级代理及合作伙伴;自有品牌“KOSTER”,主要经营KOSTER品牌定制显微镜及显微镜配套产品,具有软件著作权两项,多种定制成像方案。 多年来,公司积极参与相关领域的学术会议,并定期举办相关仪器设备的技术讲座和培训班,在科研和临床领域产生了积极的反响,获得了良好的口碑。截止2019年底,广州科适特举办公开技术讲座20多场,参会人员超过300人次;同时在国内外应邀参加学术会议和展会多次,与相关领域的客户有密切的交流合作。 广州科适特科学仪器有限公司希望在社会多方资源的支持和关怀下,不断提高服务质量,开拓新的合作领域,我们期待能为生命科学及光电研究事业提供更有价值的产品和服务!
208HR 高分辨率镀膜仪(离子溅射仪)
208HR 高分辨率镀膜仪(离子溅射仪) 产品信息
  • 208HR高分辨离子溅射仪为场发射扫描电镜应用中遇到的各种样品喷镀难题提供真正的解决方案。

    场发射扫描电镜观察时,样品需镀上极其薄、无细晶且均匀的膜层以消除电荷积累,并提高低密度材料的对比度。为了将细晶的尺寸减小到最小程度,208HR提供了一系列的镀膜材料,并对膜厚和溅射条件提供无可媲美的控制。

    208HR分子涡轮泵高真空系统提供宽范围的操作压力,可以对膜层的均匀性和一致性进行精确控制,并减小充电效应。高/低样品室的结构设计使靶材和样品之间的距离调节变得极为方便。

    MTM-20高分辨膜厚控制仪分辨率小于0.1nm,其作用是对所镀薄膜的厚度进行精确控制,它尤其适合场发射电镜对膜厚(0.53nm)的要求。

     

    场发射扫描电镜镀膜推荐的靶材是:

    • Pt/Pd:非导电样品镀膜的通用镀膜材料

    • Cr:优良的半导体样品的镀膜材料

    • Ir:优良的真正无细晶的镀膜材料

    208HR系统为得到高分辨镀膜效果提供了多种配置选择,可配备标准的旋片泵或提供干净真空的无油涡旋式真空泵,标配的208HR包含Cr Pt/Pd靶。

    一、主要特性

    ·         可选择多种镀膜材料

    ·         精确的膜厚控制

    ·         样品台控制灵活:可对样品台进行独立的旋转、行星式转动、倾斜控制,保证形貌差异大的样品也能得到的镀膜效果。

    ·         多个样品座:提供4个样品座,每个样品座直径32mm,可装载多达6个小样品座。

    ·         样品室几何可变: 样品室几何用于调节镀膜的速率(1.0nm/s 0.002nm/s

    ·         宽范围的操作压力:独立的功率和压力调节,氩气的压力大小范围为0.2 - 0.005 mbar

    ·         紧凑、现代的桌上型设计

    ·         操作容易

    二、技术参数

    溅射系统

    镀膜头

    低电压平面磁控管

    靶材更换快速

    环绕暗区护罩

    靶材调节遮挡

    靶材

    Cr, Pt/Pd   (标配)
      Ta, Au, Au/Pd, Pt, W, Ir , Ti
    (选配)

    镀膜控制

    微处理器控制

    安全互锁

    电流控制与真空度无关

    数字化可选电流(204060 80mA

    样品室大小

    直径150mm
      高度165 - 250mm

    样品台

    非重复的旋转、行星式转动,并可手动倾斜0-90°
     
    转动速度可调
      晶体头
      4个样品台

    模拟计量

    真空 Atm - .001mb
     
    电流 0-100mA  

    控制方法

    自动气体净化和泄气功能

    自动处理排序

    带有“暂停”功能的数字计时器

    自动放气

    膜厚控制

    MTM-20高分辨膜厚控制仪

    真空系统

    结构

    分子涡轮牵引泵和旋叶泵组合,

    代替旋叶泵的无油涡旋式真空泵(选配)

    抽真空速度

    0.1mb 300 l/min

    抽真空时间

    1 mbar  1 x 10-3mbar

    极限真空

    1 x 10-5mbar

    桌上型系统

    旋叶泵置于抗震台上,全金属真空耦合系统

    膜厚测控仪

    MTM-20

    基于微处理器,4位数字显示,复位按钮, 6MHz晶体(具有寿命检查功能),5/s的更新速率

    膜厚范围

    0.0 - 999.9nm

    分辨率

    优于 0.1nm

    密度范围

    0.50 - 30.00gm/cm3

    修正系数范围

    0.25 - 8.00

    镀膜终止范围

    膜厚0 - 999.9nm

    系统要求

    电气

    100-120 200-240VAC, 50/60Hz

    功率

    550VA()

    氩气

    最小纯度99.995%
     
    调节压力 5 - 6   psi (0.4 bar)
    6.0mm ID
    连接软管

15700104732
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