为提高清洗效果,在真空清洗干燥机上采用了四种技术:
(1)洗浄效果高：本装置的洗浄槽里装有超声波洗浄装置。因使用炭化水素系洗浄液的超声波效果很弱，所以洗净槽安装抽真空系统，使超声波能力增强。在真空中（10 Kpa～大気圧）对工件进清洗，盲孔中的气泡被排出，洗浄液可进入盲孔中对其清洗。在真空中洗浄液中的气体被脱气，使超声波能力增强。
(2)真空清洗.在真空状态下,工件盲孔和细小缝隙中的空气都被抽出,使溶液*浸入工件的每个部位,清洗更*.真空状态也对溶液脱气,使超声波效率提高。
(3)机械摆动.传动机构使工件在清洗槽中上下左右摆动,使污物更快脱离工件。
(4)气相清洗.在清洗的一步,是用溶液蒸汽对工件进行气相清洗,使溶解在清洗溶液中的油污不会残留在工件表面。
