化工业超纯水装置采用全自动控制方式，当然也可以进行手动控制，操作维护非常便捷，大大提高工作效率。设备设有开机密码、开机冲洗、水箱低液位保护、满水自动停机保护、水质数据报表生成并自动记录，在线监测水质并配备历史报表打印等功能，以确保设备的安全稳定运行。设有低压保护和高压保护开关，提高系统的安全性。在用水点之前必须安装杀菌消毒装置，可采用紫外线杀菌器及臭氧消毒器，以保证纯水输送的安全、卫生。
化工业超纯水装置工艺要点：
（1）预处理系统——多介质过滤器
多介质过滤器通过过滤层截留水中的大颗粒物质、有机物、微生物，铁锰等，去除总悬浮物(TSP)。有正洗、反洗、产水三种运行模式，以降低RO设备进水SDI值。罐体常用FRP材质或钢衬胶结构，其滤料主要使用石英砂和锰砂。由图二所示，滤料是由不同粒径的石英砂和锰砂分层组合起来的。当检测SDI值大于5时，则需要更换石英砂。
（2）预处理系统——软化器
软化器的作用是去除水中的钙镁离子，降低原水硬度，防止反渗透膜的表面结垢。罐体常用FRP材质或钢衬胶结构，滤料主要使用可再生型阳离子交换树脂。相比多介质过滤器，软化器有4种运行模式，包括正洗、反洗、产水和再生模式。再生型阳离子交换树脂需要定期根据运行时间常用氯化钠对其进行再生。
（3）预处理系统——活性炭过滤器
活性炭过滤器的作用是吸附原水中游离的氯离子、部分重金属和去除水中的异味。其罐体常用FRP或钢衬胶结构，滤料是石英砂和活性炭，与多介质罐一样，有正洗、反洗、产水三种运行模式。
（4）预处理系统——超滤（UF）
超滤是一种膜分离技术，其膜为多孔性不对称结构。超滤过滤过程是以膜两侧压差为驱动力，以机械筛分原理为基础的一种溶液分离过程。使用压力通常为0.01~0.3 MPa；筛选分孔径从0.002~0.1μm；截留分子量为1000~100,000 道尔顿左右。主要去除水中的胶体和病毒。
