大型化工业超纯水设备大致分成以下几种：
1、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
2、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
大型化工业超纯水设备应用领域：
1、电子、半导体行业:制取电子工业生产如单晶硅半导体集成电路块，显象管，玻壳，液晶显示器等制造工业用纯水、超纯水机。
2、医药行业用水:制药、制剂工艺用水，医疗血液透析、生化分析、输液等。
3、锅炉水处理:石油、化工、炼油、火力发电、电力、制取热力、冶金、食品、造纸等行业中锅炉，厂矿企业高、中、低压锅炉给水所需软化水、除盐纯水。
4、饮料行业:饮用纯净水、蒸馏水、天然水、矿泉水、矿化水、酒类生产白酒勾兑用纯水、啤酒糖化投料用水及纯生啤酒过滤等。
5、宾馆、楼宇、社区优质供水网络系统及游泳池水质净化。
6、制取电镀工艺用去离子水、电池(蓄电池)生产工艺的纯水，汽车、家用电器、建材产品表面涂装、清洗纯水，镀膜玻璃用纯水，纺织印染工艺所需的除硬盐水。
7、石油化工行业:如化工反应冷却、化学药剂、化肥及精细化工、化妆品制造过程用工艺纯水
